आयन बीम शंकु

SIKAIDA आयन बीम शंकु आयन बीम आरोपण और ट्रांसमिशन सिस्टम के मुख्य घटक हैं। उच्च शुद्धता वाले उन्नत सिरेमिक सामग्रियों से निर्मित और सटीक इंजेक्शन मोल्डिंग और उच्च तापमान सिंटरिंग के माध्यम से संसाधित, उनमें बेहद कम अशुद्धता सामग्री, उच्च तापमान प्रतिरोध और स्थिर आयामी सटीकता होती है। अत्यधिक उच्च सहनशीलता आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए उन्हें जटिल ज्यामिति में मशीनीकृत किया जा सकता है, जो उन्हें उच्च-प्रदर्शन अर्धचालक आयन आरोपण प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त बनाता है।

चीन में एक पेशेवर निर्माता के रूप में, SIKAIDA सेमीकंडक्टर, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, ऑप्टिक्स, माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम (एमईएमएस), और सौर ऊर्जा क्षेत्रों में दुनिया भर के ग्राहकों को विश्वसनीय, लागत प्रभावी और अनुकूलन योग्य आयन बीम शंकु प्रदान करता है। SIKAIDA उच्च-स्तरीय आयन बीम प्रक्रिया घटकों के लिए एक विश्वसनीय दीर्घकालिक आपूर्तिकर्ता और समर्पित विनिर्माण संयंत्र है।

सामग्री और विनिर्माण

1. सामग्री

आयन बीम कोन में ≥99.9% की शुद्धता के साथ एल्यूमिना (Al₂O₃), ≥99.5% की शुद्धता के साथ सिलिकॉन नाइट्राइड (Si₃N₄), ≥99.8% की शुद्धता के साथ ज़िरकोनियम ऑक्साइड (ZrO₂) और फ़्यूज्ड सिलिका (99.999%) सहित सामग्रियों का उपयोग किया जाता है। सभी सामग्रियां सेमीकंडक्टर उद्योग के कड़े शुद्धता मानकों को पूरा करती हैं और विभिन्न अनुप्रयोगों की प्रदर्शन आवश्यकताओं के लिए उपयुक्त हैं।

2. विनिर्माण प्रक्रिया

विनिर्माण प्रक्रिया में सटीक इंजेक्शन मोल्डिंग, उच्च तापमान सिंटरिंग, सीएनसी सटीक मशीनिंग, दर्पण-स्तरीय पॉलिशिंग और स्वचालित सफाई और परीक्षण शामिल हैं। यह सुनिश्चित करने के लिए कि अंतिम उत्पाद उद्योग मानकों और ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा करता है, प्रत्येक प्रक्रिया को सटीकता और गुणवत्ता के लिए सख्ती से नियंत्रित किया जाता है।

मुख्य उत्पाद पैरामीटर

1. आयामी सटीकता

आयन बीम शंकु में सहनशीलता ±0.05 मिमी, सतह खुरदरापन Ra≤0.4μm, आंतरिक छेद टेपर सटीकता ±0.02 मिमी, समाक्षीयता ≤0.03 मिमी, और लंबवतता ≤0.02 मिमी के भीतर नियंत्रित होती है। यह अत्यंत उच्च आयामी सटीकता आयन बीम संचरण की सटीकता को प्रभावी ढंग से सुनिश्चित करती है।

2. भूतल उपचार

सतह के उपचारों में दर्पण फिनिश के लिए यांत्रिक पॉलिशिंग, सतह के गुणों को बढ़ाने के लिए यूवी-ठीक कोटिंग्स, पहनने के प्रतिरोध में सुधार के लिए खरोंच-प्रतिरोधी कोटिंग्स, और अशुद्धियों को हटाने और स्थिरता में सुधार करने के लिए एसिड पिकलिंग और पैसिवेशन शामिल हैं। आवेदन की आवश्यकताओं के आधार पर उपयुक्त उपचार विधियों का चयन किया जा सकता है।

3. प्रदर्शन संकेतक

आयन बीम शंकु -196℃ से +800℃ के तापमान रेंज के भीतर काम करते हैं, जो अत्यधिक तापमान वाले वातावरण में स्थिर संचालन सुनिश्चित करते हैं। उनके पास वॉल्यूम प्रतिरोधकता ≥10¹⁴Ω··cm और सतह प्रतिरोधकता ≥10¹²Ω है, जो उत्कृष्ट इन्सुलेशन गुणों का प्रदर्शन करते हैं। उनमें प्लाज्मा और रासायनिक संक्षारण के प्रति उत्कृष्ट प्रतिरोध भी होता है, जो उन्हें जटिल प्रक्रिया वातावरण के अनुकूल होने की अनुमति देता है।

मुख्य लाभ

1. अति-उच्च शुद्धता: कच्चे माल की शुद्धता 99.9% से अधिक है, सेमीकंडक्टर वेफर्स के संदूषण को कम करता है, उपकरणों के स्थिर विद्युत प्रदर्शन को सुनिश्चित करता है, और सेमीकंडक्टर निर्माण की कठोर शुद्धता आवश्यकताओं को पूरा करता है।

2. अत्यधिक उच्च ज्यामितीय सटीकता: बड़े पैमाने पर उत्पादन के दौरान लगातार उत्पाद आयाम सुनिश्चित करता है, ±0.05 मिमी और गोलाई त्रुटि ≤0.02 मिमी के भीतर नियंत्रित टेपर त्रुटि के साथ, आयन बीम ट्रांसमिशन सिस्टम की स्थापना और उपयोग आवश्यकताओं से सटीक रूप से मेल खाता है।

3. दर्पण जैसी सतह की गुणवत्ता: सतह का खुरदरापन Ra≤0.4μm, आयन बीम के बिखरने को प्रभावी ढंग से कम करता है, आयन बीम ट्रांसमिशन की एकरूपता में सुधार करता है, और अर्धचालक उपकरणों की इम्प्लांटेशन सटीकता को और अधिक अनुकूलित करता है।

4. विस्तृत तापमान रेंज स्थिरता: गहरे क्रायोजेनिक से लेकर उच्च तापमान वाले वातावरण में स्थिर रूप से काम करता है। सामग्री में थर्मल विस्तार का गुणांक बेहद कम है, तापमान परिवर्तन के साथ भी उत्कृष्ट आयामी स्थिरता बनाए रखता है, तापमान में उतार-चढ़ाव से प्रदर्शन प्रभावों को रोकता है।

5. उत्कृष्ट इन्सुलेशन और संक्षारण प्रतिरोध: आयन बीम संचरण के दौरान चार्ज संचय को प्रभावी ढंग से रोकता है और मजबूत एसिड, मजबूत क्षार और विभिन्न प्लाज्मा संक्षारण का सामना करता है, जो जटिल प्रक्रिया वातावरण में दीर्घकालिक स्थिर संचालन सुनिश्चित करता है।

अनुकूलित सेवाएँ

उत्पाद मॉडल और आकार को विभिन्न प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है। समर्थित ड्राइंग प्रारूपों में एसटीपी, एसटीईपी, आईजीएस, एक्सटी, डीएक्सएफ, डीडब्ल्यूजी, पीडीएफ और भौतिक नमूने शामिल हैं। डिलीवरी समय के संबंध में, नमूना डिलीवरी 4-7 सप्ताह है, और बैच उत्पाद डिलीवरी 8-12 सप्ताह है। हमारी गुणवत्ता प्रणाली ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH और SEMI मानकों का अनुपालन करती है, जो व्यापक रूप से उत्पाद की गुणवत्ता और वितरण दक्षता सुनिश्चित करती है।

अनुप्रयोग क्षेत्र

आयन बीम कोन का व्यापक रूप से कई क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है, जिसमें अर्धचालक विनिर्माण में आयन प्रत्यारोपण, फ्लैट पैनल डिस्प्ले में प्रसंस्करण उपकरण, ऑप्टिकल डिवाइस विनिर्माण में आयन बीम जमाव (आईबीडी) और आयन बीम नक़्क़ाशी (आईबीई) सिस्टम, माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम (एमईएमएस) विनिर्माण, सौर कोशिकाओं के लिए आयन डोपिंग उपकरण, और बिजली अर्धचालक उपकरणों जैसे इंसुलेटेड-गेट द्विध्रुवी ट्रांजिस्टर (आईजीबीटी) और पावर के लिए आयन प्रत्यारोपण प्रक्रियाएं शामिल हैं। MOSFETs।

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्नों:

Q1: आयन बीम कोन में आमतौर पर कौन सी सामग्री का उपयोग किया जाता है?

A1: हम मुख्य रूप से उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना (Al₂O₃), सिलिकॉन नाइट्राइड (Si₃N₄), और ज़िरकोनियम ऑक्साइड (ZrO₂) जैसी उन्नत सिरेमिक सामग्री का उपयोग करते हैं। इन सामग्रियों में अत्यधिक उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध और स्थिर विद्युत गुण होते हैं।

Q2: क्या यूईटी अनुकूलित विनिर्देश और सतह उपचार प्रदान कर सकता है? 

ए2: हाँ. यूईटी आपकी प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार शंकु के आकार, टेपर, सामग्री प्रकार और सतह के उपचार को अनुकूलित कर सकता है। हमारे पास व्यापक विनिर्माण अनुभव है और हम ग्राहकों की विशिष्ट एप्लिकेशन आवश्यकताओं को पूरा कर सकते हैं।

Q3: आयन बीम कोन की परिशुद्धता और गुणवत्ता की गारंटी कैसे दी जाती है?

A3: हम ISO9001:2015 गुणवत्ता प्रबंधन प्रणाली को अपनाते हैं और उच्च परिशुद्धता परीक्षण उपकरणों से लैस हैं, जिसमें एक समन्वय मापने वाली मशीन, सतह खुरदरापन परीक्षक और एक्स-रे प्रतिदीप्ति स्पेक्ट्रोमीटर शामिल हैं, ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि उत्पादों का प्रत्येक बैच कड़े उद्योग मानकों को पूरा करता है।

Q4: डिलीवरी चक्र क्या है?

A4: नमूना वितरण चक्र 4-7 सप्ताह है, और बैच उत्पाद वितरण चक्र 8-12 सप्ताह है। विशिष्ट चक्र उत्पाद जटिलता और ऑर्डर मात्रा पर निर्भर करता है।